超精研是指在良好的润滑条件下，工件以一定的速度旋转，同时用细粒度的磨石以一定的压力压向工件加工表面，并且在垂直于工件旋转方向作往复震荡运动的一种加工方法。
它具有下列特点：
1.能有效的减小波纹度。超精研过程中，当磨石与工件接触的圆弧大于或等于工件表面波纹度的波长时，就能保证磨石始终作用于波峰而不与波谷接触，这样波峰的接触压力较大，凸峰就被切除，因而减少了波纹度。
2.改善球轴承滚道的沟形误差。超精研可以有效的改善滚道的沟形误差，一般可改善35％左右。
3.能使被超精研表面产生压应力。超精研过程中主要产生冷塑形变形，因而超精研后工件表面形成残余压应力。
4.降低表面粗糙度值。
